- 更新時(shí)間2024-04-01
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鎢燈絲掃描電鏡(Tungsten Filament Scanning Electron Microscope，TFE-SEM)是一種常見的高分辨率成像技術(shù)。它利用高速電子掃描樣品表面，可以得到樣品表面的高分辨率像，常用于研究材料的形貌、微結(jié)構(gòu)和成分等。
鎢燈絲掃描電鏡總發(fā)射電流以及束斑都比較大，抗干擾能力還有穩(wěn)定性都比較好，低真空下能夠?qū)Σ粚?dǎo)電樣品無(wú)荷電成像，能夠使用于形貌觀察、顯微結(jié)構(gòu)分析以及斷口形貌分析，在材料領(lǐng)域、地質(zhì)領(lǐng)域、礦產(chǎn)領(lǐng)域、冶金領(lǐng)域、機(jī)械領(lǐng)域、化學(xué)領(lǐng)域、化工領(lǐng)域、物理領(lǐng)域、電子領(lǐng)域、生物領(lǐng)域以及醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域都有廣泛的使用。
鎢燈絲掃描電鏡的主要功能包括形貌觀察、成分分析、失效分析、應(yīng)力分析和相分析等。這種設(shè)備利用高能電子束掃描樣品表面，產(chǎn)生多種物理信號(hào)，如二次電子、背散射電子等，這些信號(hào)通過(guò)探測(cè)器收集并放大后，用于調(diào)制得到樣品的顯微圖像。鎢燈絲掃描電鏡具有較大的總發(fā)射電流和束斑，具有較好的抗干擾能力和穩(wěn)定性，適合在低真空環(huán)境下使用，甚至可以對(duì)不導(dǎo)電樣品進(jìn)行無(wú)荷電成像。鎢燈絲掃描電鏡還提供穩(wěn)定的光源，滿足不同的掃描模式下的成像需求，且具有較長(zhǎng)的使用壽命，可以減少維護(hù)和升級(jí)成本。
經(jīng)過(guò)對(duì)電子槍內(nèi)的鎢燈絲加高電壓，讓電子槍處于熱激發(fā)的狀態(tài)，在陽(yáng)極作用下，處于熱激發(fā)的電子槍就能夠激發(fā)出電子束。通過(guò)掃描線圈磁場(chǎng)的操控，電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，激發(fā)出二次電子以及背散射電子等物理信號(hào)，通過(guò)探測(cè)器收集還有放大器放大之后，調(diào)制并得到圖像。鎢燈絲掃描電鏡比較適合大量的常規(guī)檢測(cè)。
